Innholdsfortegnelse:
Definisjon - Hva betyr nanolitografi?
Nanolitografi er en gren av nanoteknologi og navnet på prosessen for å trykke, skrive eller etse mønstre på et mikroskopisk nivå for å skape utrolig små strukturer. Denne prosessen brukes vanligvis til å lage mindre og raskere elektroniske enheter som mikro / nanochips og prosessorer. Nanolitografi brukes hovedsakelig innen forskjellige teknologisektorer, fra elektronisk til biomedisinsk.Techopedia forklarer nanolitografi
Nanolitografi er et bredt begrep som brukes for å beskrive forskjellige prosesser for å lage nanoskala-mønstre på forskjellige medier, hvor den vanligste er halvledermaterialet silisium. Det dominerende formålet med nanolitografi er krympingen av elektroniske apparater, som gjør det mulig å tette flere elektroniske deler i mindre rom, dvs. mindre integrerte kretsløp som resulterer i mindre innretninger, som er raskere og billigere å produsere siden færre materialer er nødvendige. Dette øker også ytelse og responstid fordi elektronene bare trenger å reise veldig korte avstander.
Noen teknikker brukt i nanolitografi er som følger:
- Røntgenlitografi - Implementert gjennom en nærhetstrykk tilnærming og er avhengig av nærfelt røntgenstråler i Fresneldiffraksjon. Det er kjent å utvide sin optiske oppløsning til 15 nm.
- Dobbelt mønstring - En metode som brukes til å øke tonehøydeoppløsningen til en litografisk prosess ved å skrive ut flere mønstre mellom mellomrom med allerede trykte mønstre i samme lag.
- Elektronstråle direkte skriving (EBDW) litografi - Den vanligste prosessen som brukes i litografi, som bruker en stråle av elektron for å lage mønstre.
- Ekstrem ultrafiolett litografi - En form for optisk litografi som benytter seg av ultrashort lysbølgelengder på 13, 5 nm.
